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liyuanyuan 在 2018-11-19 15:13 发起了提问
楼宇自控
问答 平膜式气体流量传感器有什么特点？
最佳答案： 平膜式气体流量传感器及其制造方法。它涉及流量传感器领域，它解决了气体流量传感器结构尺寸较大、功耗较高，且不易于批量生产，成本较高的缺点。它的单晶硅片的上下表面分别生成绝缘层，在上部绝缘层上依次生成过渡层和敏感金属层，并刻蚀为加热电阻、测温热敏电阻和控制电阻并平行；电极透过覆盖在单晶硅片...:
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